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开局一座工业园,造出光刻机

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第22章 百分之百的良率
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  “!!!”

  张帆嘟囔着小嘴乖乖的退了回去,她都没说我能干啥呢,就被拒绝了,她还能说啥。

  太霸道了!

  而就在所有人的注视之下。

  光刻机全面启动。

  整个工作机组成流水线程方式。

  晶圆由机器人分毫不差的放在工作台上的卡槽之中,四周的卡位将晶圆稳固。

  可在此时,画面却静止了下来。

  曝光系统并没有启动,反而在真空罩内,进行一种复杂的工艺。

  几个院士目不转睛,完全忘乎所以的盯着真空罩。

  丝毫不顾周围人的感受。

  工部尚书卢风忍不住问道:“这,是在干什么?”

  并不了解光刻机。

  云凌峰解释道:“光刻机所加工的,并不是真正的芯片,而是芯片的基础单位晶圆。”

  “而晶圆加工,必须要进过五个流程。”

  “晶圆裸片,金属溅镀,涂布光阻,刻蚀技术,光阻取出,电镀工艺。”

  “现在这个过程可以称之为镀膜!”

  “简单来说,就是电子元器件的物理气象沉积工艺。”

  “利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集而形成高速离子束流,轰击固体表面。”

  “离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,也就是镀膜!”

  听完,工部尚书不由的点了点头,但其实……根本就没听懂。

  “不错,不错!”但工部尚书还是忍不住的赞叹起来。

  “是啊,不错,非常不错!”郡守,两大城主也紧随其后的点头称赞。

  颇有一番见解的点头,表示……看懂了。

  但其实,还是一脸懵。

  云凌峰无奈一笑,只能继续解释道:“光刻机加工芯片过程中,简单来说就是通过光源,形成控制方法。”

  “将光束射过线路图,处理好光学误差,再将线路图的比例缩小,用化学的方法将电路图刻在硅片上。”

  “在晶圆上开出各种微小的空间注入离子,生成PN节,构建千千万万的元器件。”

  “完成这个,才能在晶圆上
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